博蕴通碳管炉

这是一套在1600度下沉积SiC薄膜的装置，最高温度2100度，带四路供气系统、四氯化硅罐体和管道，可配恒压泵保证沉积腔内气体在1Pa到1000Pa内的任意压强，比管式炉安全可靠，温度更高。